工作职责

方向一：等离子体与材料相互作用研究 1.研究不同工艺参数下等离子体中的物理过程和化学过程； 2.研究射频等离子体与材料表面的相互作用机理，包括刻蚀、沉积、改性等过程； 3.运用低温等离子体仿真与量子化学计算，模拟等离子体特性及其与材料表面的反应，从原子/分子层面解释实验现象； 4.通过电路及低温等离子体离线及在线诊断手段，测量等离子体参数（如电子温度、离子密度）和表面处理结果。 方向二：等离子体源设计与数值仿真 1.微波等离子体源、射频等离子体源、离子束源的物理设计与开发； 2.负责电路、电磁场及低温等离子体仿真及多物理场耦合仿真，包括进行射频容性/感性放电的仿真模型开发。 方向三：等离子体实验与综合诊断 1.等离子体实验与诊断平台搭建，进行ICP、CCP、MW、Ion Beam实验； 2.开发并应用电路及低温等离子体的离线与在线诊断技术； 3.通过实验数据验证理论模型与仿真结果。

任职资格

方向一：等离子体与材料相互作用研究 1.等离子体物理、材料物理与化学、表面化学等相关专业； 2.具备扎实的等离子体物理基础，熟悉射频容性/感性放电原理； 3.具备plasma诊断工具的使用技能和实验设计能力； 4.掌握至少一种等离子体仿真工具或量子化学计算软件； 5.具备ICP或CCP的实验、诊断、仿真经验； 6.具备SCI文献撰写技能； 7.特别优秀者可放宽要求。 方向二：等离子体源设计与数值仿真 1.等离子体物理、电磁场与微波技术等相关专业； 2.精通等离子体仿真工具，具备ICP、CCP、MW中至少一种的PIC/MCC/流体模型开发经验； 3.具备电磁场仿真软件使用经验； 4.具备SCI文献撰写技能； 5.特别优秀者可放宽要求。 方向三：等离子体实验与综合诊断 1.等离子体物理.电气工程等相关专业； 2.具备丰富的等离子体诊断工具使用经验，具备诊断平台搭建能力； 3.具备ICP、CCP、MW或Ion Beam中至少一种的实验研究及诊断经验； 4.具备SCI文献撰写技能； 5.特别优秀者可放宽要求。