南大光电（乌兰察布）有限公司成立于2021年2月，隶属于江苏南大光电材料股份有限公司，注册资金30000万元。目前有员工 230 名，其中: 硕士7人、本科44 人，大专及以上 190 人，占全部员工的比例约 83%，是一支年轻化的在地化创新创业团队。

秉承地方政府建设“区域氟硅科技创新高地、生态文明工业示范区”的发展思路，南大光电致力于一系列高端氟硅电子材料的开发和产业化。公司2021年5月17日开工建设，首期年产量1800吨电子级高纯三氟化氮项目于2021年当年建成投产。目前公司三氟化氮产品产能已达3600吨/年。本三氟化氮项目采用目前全球领先的制造、品控及安全环保技术，计划在十四五期间建成7200吨三氟化氮产能，并实现5N品质的突破，届时南大光电三氟化氮产能、品质、成本等综合竞争优势全球第一。

公司将持续以绿色制造为着力点，链接乌兰察布优势资源，以绿电为主发展以氟硅电子材料为主的半导体行业配套产业，逐渐打造成一个服务京津冀、辐射全球的世界级氟硅电子材料产业基地。

产品介绍

三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。运用于硅和氮化硅蚀刻，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，NF3的需求量将日益增加。

IC（芯片）行业：三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，是电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体；也大量用于化学沉积相（CVD）腔体清洗。

FPD（平板显示）行业：三氟化氮可大量减少污染物排放量，以及显著提高清洗速度，用于化学气相沉积（CVD）腔体清洗，也可用作蚀刻剂用作LCD的加工。

太阳能薄膜行业：在非晶硅薄膜太阳能电池成膜过程中用于腔体清洗。

氟化石墨行业：在氟化石墨生产中裂解后作为高质量、高纯度的氟来源。

隶属集团公司介绍

江苏南大光电材料股份有限公司创建于2000年，2012年8月7日在深交所上市，股票代码300346。南大光电诞生于国家863计划，成长于国家集成电路材料技术攻关产业化。在电子特气、光刻胶、前驱体材料领域人才集聚优势明显，拥有世界级的技术团队。先后承担并实现了国家863计划MO源、国家“02专项”高纯电子气体（砷烷、磷烷）、ALD/CVD前驱体材料、193nm光刻胶的开发与产业化，逐步形成MO源/前驱体、电子特气、光刻胶及配套材料三大核心业务板块。产品被广泛应用于液晶面板、太阳能光伏、集成电路制造等领域，是全球最大的MO源生产商、电子特气头部企业，公司MO源全球市场占有率超过40%、全球第一；高纯砷烷市占率全球第一，三氟化氮、磷烷全球第二、全国第一。目前，南大光电拥有江苏苏州、浙江宁波、安徽全椒、山东淄博、内蒙古乌兰察布6个产业化基地。